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标题
Molecular Dynamics Study on Plasma-Surface Interactions of SiCN Dielectrics for Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding Process
网址
https://doi.org/10.1109/EPTC56328.2022.10013205
DOI
10.1109/EPTC56328.2022.10013205 doi
其它 期刊：2022 IEEE 24th Electronics Packaging Technology Conference (EPTC)
作者：Seung Ho Hahn; Wooyoung Kim; Donggap Shin; Yongin Lee; Wonyoung Choi; et al
出版日期：2022
求助人
danli 在 2026-01-31 19:49:58 发布自贵州，悬赏 10 积分
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