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标题
Fluorocarbon assisted atomic layer etching of SiO2 and Si using cyclic Ar/C4F8 and Ar/CHF3 plasma
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.4935462
DOI
10.1116/1.4935462 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Dominik Metzler; Chen Li; Sebastian Engelmann; Robert L. Bruce; Eric A. Joseph; et al
出版日期：2015-11-11
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Atlantis 在 2026-10-13 17:20:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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