ALD Grown Rare-Earth High-k Oxides on Ge: Lowering of the Interface Trap Density and EOT Scalability

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标题	ALD Grown Rare-Earth High-k Oxides on Ge: Lowering of the Interface Trap Density and EOT Scalability
网址	http://dx.doi.org/10.1149/06408.0069ecst
DOI	10.1149/06408.0069ecst doi
求助人	higher 在 2026-10-28 19:06:34 发布自江苏，悬赏 20 积分
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