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Rate-Dependent Evolution of Microstructure and Stress in Silicon Ffilms Deposited by Electron Beam Evaporation 电子束蒸发硅薄膜微结构和应力的速率相关演化
相关领域
微观结构
电子束物理气相沉积
材料科学
硅
蒸发
压力(语言学)
电子
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复合材料
冶金
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物理
核物理学
热力学
哲学
语言学
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| 其它 | 作者:Runar Plünnecke Dahl Hansen; Marit Stange; Tor Olav Sunde; Alexander Ulyashin |
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