Chemical Etching of Thermally Oxidized Silicon Nitride: Comparison of Wet and Dry Etching Methods

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标题	Chemical Etching of Thermally Oxidized Silicon Nitride: Comparison of Wet and Dry Etching Methods
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.2085792
DOI	10.1149/1.2085792 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Lee M. Loewenstein; Charlotte M. Tipton 出版日期：1991-05-01
求助人	霍霍在 2026-09-03 12:17:32 发布自福建，悬赏 10 积分
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