Lithography hotspot detection and automated repair using pattern encoding and CNNs

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标题	Lithography hotspot detection and automated repair using pattern encoding and CNNs
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3116850 doi
其它	期刊：Photomask Japan 作者：Yu-Tse Wu; Arthur Lin; Chun-Ming Wang 出版日期：2026-09-23
求助人	aa3294 在 2026-10-30 21:40:40 发布自北京，悬赏 20 积分
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