Nanoengineering silicon materials by metal-assisted chemical etching for thermal energy harvesting

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标题	Nanoengineering silicon materials by metal-assisted chemical etching for thermal energy harvesting 用于热能收集的金属辅助化学蚀刻纳米工程硅材料相关领域纳米工程材料科学蚀刻（微加工）硅各向同性腐蚀金属纳米技术热的工程物理冶金物理工程类气象学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109622
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109622 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Nguyễn Văn Toàn; N. Tran; Trương Thị Kim Tươi; Suhana Mohd Said; Mohd Faizul Mohd Sabri; et al 出版日期：2025-04-30
求助人	coolru 在 2025-06-15 12:18:55 发布自天津，悬赏 10 积分
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