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Influence of metal electrodes on crystal orientation of aluminum nitride thin films 金属电极对氮化铝薄膜晶体取向的影响
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期刊:Vacuum 作者:Morito Akiyama; Keigo Nagao; Naohiro Ueno; Hiroshi Tateyama; Tetsuo Yamada 出版日期:2004-02-28 |
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