发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Lithography vacuum and exhaust gas management for EUV high NA
EUV高NA光刻真空和废气管理
相关领域
极紫外光刻 平版印刷术 碳足迹 氢 化石燃料 环境科学 计算机科学 工艺工程 材料科学 纳米技术 光电子学 工程类 温室气体 物理 废物管理 地质学 海洋学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1117/12.3053555
DOI
10.1117/12.3053555 doi
其它 期刊：
作者：Zhen Ma; Soline Boyer‐Richard; J. Zhang; Bin Zhao
出版日期：2024-12-10
求助人
daoketuo 在 2025-06-09 17:16:09 发布自甘肃，悬赏 20 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Current challenges and opportunities for EUV lithography
  2. Extreme ultraviolet (EUV) lithography
  3. Predictive modeling of EUV-lithography: the role of mask, optics, and photoresist effects
  4. Mask-induced best-focus-shifts in DUV and EUV lithography
  5. Recent Status of the Stochastic Issues of Photoresist Materials in EUV Lithography
  6. Scatterometry for EUV lithography at the 22-nm node
  7. Development of metal organic cluster EUV photoresists
  8. Patterning infrastructure development for advanced EUV lithography
  9. Patterning infrastructure development for advanced EUV lithography
  10. EUV mask lifetime testing using EBL2
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
hui发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
传奇3的应助被xcwy采纳，获得10
3秒前
小超超发布了新的文献求助10
3秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
4秒前
5秒前
去玩儿完成签到，获得积分20
8秒前
漠mo发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
10秒前
地德兴发布了新的文献求助10
11秒前
Akim的应助被飞翔的土豆采纳，获得10
12秒前
Vincent发布了新的文献求助20
13秒前
wfrg发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
隐形曼青的应助被活力的青枫采纳，获得10
14秒前
14秒前
14秒前
暖暖的禾日完成签到，获得积分10
15秒前
称心的新之完成签到，获得积分10
17秒前
fahbfafajk完成签到，获得积分10
17秒前
所所的应助被msk采纳，获得10
19秒前
孤雏发布了新的文献求助10
19秒前
热心可乐发布了新的文献求助10
19秒前
酷波er的应助被捡针雨采纳，获得10
20秒前
20秒前
20秒前
oiiomin完成签到 ，获得积分10
21秒前
执着的问兰完成签到，获得积分10
21秒前
22秒前
善学以致用的应助被柠檬精采纳，获得10
23秒前
zixuanzhong完成签到，获得积分10
23秒前
25秒前
25秒前
26秒前
26秒前
27秒前
超A发布了新的文献求助10
27秒前
高分求助中
Africanfuturism: African Imaginings of Other Times, Spaces, and Worlds 3000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 2000
Electron microscopy study of magnesium hydride (MgH2) for Hydrogen Storage 1000
Structural Equation Modeling of Multiple Rater Data 700
 Introduction to Comparative Public Administration Administrative Systems and Reforms in Europe, Third Edition 3rd edition 590
全球膝关节骨性关节炎市场研究报告 555
Exhibiting Chinese Art in Asia: Histories, Politics and Practices 540
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3888736
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3431079
关于积分的说明 10772369
捐赠科研通 3156057
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1742852
邀请新用户注册赠送积分活动 841421
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 785926
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通