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标题
Mechanistic study of the atomic layer deposition of cobalt: a combined mass spectrometric and computational approach
钴原子层沉积的机理研究：质谱和计算相结合的方法
相关领域
钴 原子层沉积 沉积（地质） 图层（电子） 化学 原子质量 分析化学（期刊） 计算化学 纳米技术 材料科学 环境化学 无机化学 物理 原子物理学 地质学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1039/d4cp00093e
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1039/d4cp00093e doi
其它 期刊：Physical Chemistry Chemical Physics
作者：Sofia Donnecke; Mathias Paul; Peter J. H. Williams; Serena Chan; Veronica Tse; et al
出版日期：2024-01-01
求助人
jingjing 在 2025-05-24 15:10:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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