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 High reliability InGaZnO TFT by inductively coupled plasma sputtering system 电感耦合等离子体溅射高可靠性InGaZnO薄膜晶体管
相关领域
溅射
可靠性（半导体）
感应耦合等离子体
材料科学
薄膜晶体管
光电子学
等离子体
无线电频率
射频功率传输
晶体管
电压
半导体
射频功率放大器
电子工程
电气工程
功率（物理）
薄膜
工程类
纳米技术
图层（电子）
CMOS芯片
物理
放大器
量子力学
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期刊： 作者：Daisuke Matsuo; Takuya Ikeda; Shigeaki Kishida; Yoshitaka Setogucti; Yasunori Andoh; et al 出版日期：2019-11-01 |
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