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Optimizing Low-k SiCOH Films Deposited by PECVD with a Novel C6H16OSi Precursor: Impact of Oxygen/Carbon ratio on Film Properties
用新型C6H16OSi前驱体优化PECVD沉积低k SiCOH薄膜：氧/碳比对薄膜性能的影响
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2025.130510
DOI
10.1016/j.matchemphys.2025.130510 doi
其它 期刊：Materials Chemistry and Physics
作者：Sangwoo Lee; Jaejin Hwang; Joonbong Lee; Hyunbin Chung; Dae Haa Ryu; et al
出版日期：2025-02-07
求助人
单薄碧灵 在 2025-09-01 17:17:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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