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 Ion energy distribution control in single and dual frequency capacitive plasma sources 单、双频电容等离子体源中离子能量分布的控制
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：J K Lee; О.V. Manuilenko; Natalia Yu Babaeva; H C Kim; J. W. Shon 出版日期：2005-01-13 |
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