Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit

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标题	Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit 高溶解度磷掺杂纳米硅片微波退火的高效稳定活化相关领域纳米片材料科学兴奋剂退火（玻璃）硅空位缺陷薄板电阻溶解度掺杂剂分析化学（期刊）光电子学亚稳态化学工程纳米技术结晶学化学冶金物理化学有机化学图层（电子）工程类
网址	https://doi.org/10.1063/5.0099083
DOI	10.1063/5.0099083 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Chung-En Tsai; Chandrashekhar P. Savant; Mohammad Javad Asadi; Yu-Ming Lin; Iván Santos; et al 出版日期：2022-08-01
求助人	霍彦辰在 2024-04-20 10:13:10 发布自湖北，悬赏 10 积分
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