UV Lithography and Molding Fabrication of Ultrathick Micrometallic Structures Using a KMPR Photoresist

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标题	UV Lithography and Molding Fabrication of Ultrathick Micrometallic Structures Using a KMPR Photoresist
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/84/5475379/05460942.pdf?...
DOI	10.1109/jmems.2010.2045880 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Y. Shin; D. Gamzina; L. Barnett; F. Yaghmaie; A. Baig; et al 出版日期：2010-05-06
求助人	刘梓在 2026-07-07 11:39:07 发布自河南，悬赏 10 积分
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