Control of ion energy distributions using phase shifting in multi-frequency capacitively coupled plasmas

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标题	Control of ion energy distributions using phase shifting in multi-frequency capacitively coupled plasmas
网址	http://aip.scitation.org/doi/am-pdf/10.1063/1.4922631
DOI	10.1063/1.4922631 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Yiting Zhang; Abdullah Zafar; David J. Coumou; Steven C. Shannon; Mark J. Kushner 出版日期：2015-06-18
求助人	Plasma992575 在 2026-08-26 10:33:36 发布自山东，悬赏 10 积分
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