Plasma power measurement and hysteresis in the E–H transition of a rf inductively coupled plasma system

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标题	Plasma power measurement and hysteresis in the E–H transition of a rf inductively coupled plasma system
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.28448...
DOI	10.1063/1.2844885 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：A. M. Daltrini; S. A. Moshkalev; T. J. Morgan; R. B. Piejak; W. G. Graham 出版日期：2008-02-15
求助人	Cauchy 在 2026-07-21 15:13:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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