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标题
Uniformity of Optical Constants in Amorphous Ta2O5 Thin Films as Measured by Spectroscopic Ellipsometry
网址
https://link.springer.com/content/pdf/10.1023/B:RUMI.0000043...
DOI
10.1023/b:rumi.0000043044.12580.1e doi
其它 期刊：Russian Microelectronics
作者：V. A. Shvets; D. V. Gritsenko; V. Sh. Aliev; S. I. Chikichev*; S. V. Rykhlitskii
出版日期：2004-09-29
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爱喝冰可乐 在 2026-06-16 20:27:12 发布自河南，悬赏 10 积分
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