Atomistic insights into ion irradiation effects in plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride

已完结

文献求助详情

标题	Atomistic insights into ion irradiation effects in plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0005302
DOI	10.1116/6.0005302 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Abdullah Y. Jaber; Nicolas A. Mauchamp; Erin Joy C. Tinacba; Michiro Isobe; Tomoko Ito; et al 出版日期：2026-05-11
求助人	hustliuxiao 在 2026-07-09 11:38:58 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Cc完成签到，获得积分10

1秒前; 小方发布了新的文献求助10

1秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

2秒前; 含蓄的正豪发布了新的文献求助10

2秒前; 研友_VZG7GZ的应助被pinky采纳，获得10

2秒前; 科研通AI6.3的应助被沈周采纳，获得10

3秒前; 愉快的真发布了新的文献求助10

3秒前; bkagyin上传了应助文件

3秒前; guan完成签到，获得积分10

5秒前; 小马甲上传了应助文件

8秒前; 南鸢发布了新的文献求助10

8秒前; 周周发布了新的文献求助10

10秒前; nananan发布了新的文献求助10

10秒前; cdercder的应助被194采纳，获得10

10秒前; John_sdu完成签到，获得积分10

10秒前; 万能图书馆的应助被zhouyaqiu采纳，获得10

10秒前; xiaoxiangzi完成签到，获得积分10

11秒前; 大大大发布了新的文献求助10

11秒前; gucci完成签到，获得积分10

11秒前; weitao完成签到，获得积分10

12秒前; MMCC撤回了应助文件

12秒前; 慕青的应助被123采纳，获得10

12秒前; 葵花发布了新的文献求助10

13秒前; JamesPei的应助被22222采纳，获得10

13秒前; Hello的应助被唠叨的灵安采纳，获得10

14秒前; 美满的太英完成签到，获得积分10

14秒前; Copyright的应助被想人陪的忆彤采纳，获得10

14秒前; 风吹小巷发布了新的文献求助10

14秒前; Copyright上传了应助文件

15秒前; molihuakai的应助被pandaccc采纳，获得10

15秒前; 王正浩完成签到，获得积分10

15秒前; Owen上传了应助文件

15秒前; 愉快的真发布了新的文献求助10

16秒前; 所所上传了应助文件

17秒前; 小蘑菇上传了应助文件

17秒前; ding上传了应助文件

17秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

19秒前; 万能图书馆上传了应助文件

19秒前; 葵花完成签到，获得积分10

19秒前; 脑洞疼的应助被zewangguo采纳，获得10

20秒前