Plasma properties during magnetron sputtering of lithium phosphorous oxynitride thin films - 科研通

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标题	Plasma properties during magnetron sputtering of lithium phosphorous oxynitride thin films
网址	https://doi.org/10.1016/j.jpowsour.2014.09.174
DOI	10.1016/j.jpowsour.2014.09.174 doi
其它	期刊：Journal of Power Sources 作者：Ane S. Christiansen; Eugen Stamate; Karl Thydén; Reza Younesi; Peter Holtappels 出版日期：2015
求助人	bin 在 2026-02-04 17:01:30 发布自广东，悬赏 10 积分
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