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标题
Formation of diamond trenches with flat {111} sidewalls via thermochemical etching by Ni films in water vapor
水蒸气中Ni膜热化学刻蚀形成{111}平坦金刚石沟槽
相关领域
材料科学 平坦度(宇宙学) 钻石 蚀刻(微加工) 光电子学 纳米技术 各向同性腐蚀 水蒸气 纳米尺度 反应离子刻蚀 金属有机气相外延 制作 干法蚀刻 晶体管 化学气相沉积 人造金刚石
网址
DOI
10.1016/j.apsadv.2025.100898 doi
其它 期刊:Applied Surface Science Advances
作者:Masatsugu Nagai; Tsubasa Matsumoto; Satoshi Yamasaki; Norio Tokuda; Moriyoshi Haruyama; et al
出版日期:2025-11-09
求助人
葛一豪 在 2025-12-10 20:45:28 发布自河南,悬赏 10 积分
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