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 Fabrication of sub-micrometer 3D structures for terahertz oscillators by electron beam gray-tone lithography 相关领域
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太赫兹辐射
材料科学
光电子学
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电子束光刻
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Mikhail Bezhko; Safumi Suzuki; Shota Iino; Masahiro Asada 出版日期：2022-02-14 |
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