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 Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases 使用甲烷和氢混合气体的环形空心阴极感应耦合等离子体注入对电容耦合等离子体的影响
相关领域
感应耦合等离子体
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期刊：Vacuum 作者：Yasunori Ohtsu; Tatsuo Tabaru; Julian Schulze 出版日期：2025-02-01 |
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