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标题
Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases
使用甲烷和氢混合气体的环形空心阴极感应耦合等离子体注入对电容耦合等离子体的影响
相关领域
感应耦合等离子体 等离子体 容性耦合等离子体 氢 甲烷 阴极 化学 分析化学（期刊） 戒指（化学） 材料科学 环境化学 物理化学 物理 有机化学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114159
DOI
10.1016/j.vacuum.2025.114159 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Yasunori Ohtsu; Tatsuo Tabaru; Julian Schulze
出版日期：2025-02-01
求助人
含糊的雨安 在 2025-07-14 20:02:44 发布自上海，悬赏 10 积分
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