A comparative study on the hardness, stress and surface free energy of HfN films grown by HIPIMS and direct-current magnetron sputtering

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标题	A comparative study on the hardness, stress and surface free energy of HfN films grown by HIPIMS and direct-current magnetron sputtering HIPIMS和直流磁控溅射HfN薄膜硬度、应力和表面自由能的比较研究相关领域高功率脉冲磁控溅射材料科学溅射沉积溅射复合材料占空比冶金薄膜纳米技术电压电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130405
DOI	10.1016/j.surfcoat.2024.130405 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Kunlun Wang; Yuhe Liu; J. Katagiri; Hui Sun; Yong Wang; et al 出版日期：2024-01-11
求助人	一番星在 2025-06-20 11:36:30 发布自广东，悬赏 10 积分
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