High-speed wafer surface defect detection with edge enhancement via optical spatial filtering in serial time-encoded imaging

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标题	High-speed wafer surface defect detection with edge enhancement via optical spatial filtering in serial time-encoded imaging 串行时间编码成像中基于光学空间滤波边缘增强的高速晶圆表面缺陷检测相关领域薄脆饼 GSM演进的增强数据速率材料科学曲面（拓扑）空间滤波器光学计算机科学光电子学人工智能物理数学几何学
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.111442
DOI	10.1016/j.optlastec.2024.111442 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Peng Cai; A.J. Liu; Lei Gao; Shiyun Dai; Qiang Wu; et al 出版日期：2024-07-14
求助人	明月清风在 2025-06-16 19:07:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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