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标题
Challenges in dry etching: uniformity, selectivity, pattern dependencies, damage, and cleaning
干法蚀刻的挑战：均匀性、选择性、图案依赖性、损坏和清洁
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网址
https://doi.org/10.1016/0167-9317(94)90100-7
DOI
10.1016/0167-9317(94)90100-7 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Herbert H. Sawin
出版日期：1994-01-01
求助人
研友_LaN1ln 在 2025-05-25 22:48:21 发布自湖北，悬赏 10 积分
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