Enhanced functional properties of ABC-type atomic layer deposited Ru thin films for advanced Cu alternative nanoscale interconnects

已完结

文献求助详情

标题	Enhanced functional properties of ABC-type atomic layer deposited Ru thin films for advanced Cu alternative nanoscale interconnects
网址	http://dx.doi.org/10.1039/d5tc04500b
DOI	10.1039/d5tc04500b doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Jeongha Kim; Debananda Mohapatra; Yeseul Son; Jae Min Jang; Sang Bok Kim; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	满意的香菇在 2026-10-26 15:28:58 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 田様上传了应助文件

刚刚; aaa发布了新的文献求助10

1秒前; fu发布了新的文献求助10

2秒前; 缓慢采柳完成签到，获得积分10

2秒前; 所所上传了应助文件

2秒前; 乐乐的应助被kaizt采纳，获得10

3秒前; 骆马湖完成签到，获得积分10

3秒前; dew上传了应助文件

4秒前; 笨笨的雨发布了新的文献求助10

7秒前; 狂野谷冬发布了新的文献求助10

7秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

7秒前; 我是老大上传了应助文件

7秒前; Akim上传了应助文件

8秒前; 享阝发布了新的文献求助10

8秒前; 李琛璐完成签到，获得积分10

9秒前; 烟花上传了应助文件

9秒前; 于是乎完成签到，获得积分10

10秒前; 阿卓卓宇宙最可爱完成签到，获得积分10

10秒前; 万能图书馆上传了应助文件

10秒前; SciGPT上传了应助文件

11秒前; 上官若男上传了应助文件

12秒前; 兔兔发布了新的文献求助10

13秒前; wyrrr发布了新的文献求助30

13秒前; szxnb666发布了新的文献求助10

14秒前; v0id上传了应助文件

14秒前; 斯立普发布了新的文献求助30

15秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

15秒前; Orange上传了应助文件

15秒前; waiwai发布了新的文献求助10

15秒前; ding的应助被小帅采纳，获得10

16秒前; 毛毛余发布了新的文献求助10

16秒前; Richard发布了新的文献求助30

16秒前; yaoayao发布了新的文献求助10

17秒前; 大个上传了应助文件

17秒前; wenduoxu完成签到，获得积分10

17秒前; 淡然冬灵上传了应助文件

18秒前; 里昂义务发布了新的文献求助10

19秒前; zj举报研友_ndkkYL的求助涉嫌违规

20秒前; 上官若男上传了应助文件

20秒前; GuSiwen完成签到，获得积分10

20秒前