| 标题 |
Stochastic printing failures in extreme ultraviolet lithography |
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| DOI |
10.1117/1.jmm.17.4.041011
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期刊:Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者:Peter De Bisschop 出版日期:2018-09-25 |
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(2025-6-4)