MOCVD of tungsten nitride thin films: Comparison of precursor performance and film characteristics

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标题	MOCVD of tungsten nitride thin films: Comparison of precursor performance and film characteristics
网址	https://doi.org/10.1002/pssa.201330127
DOI	10.1002/pssa.201330127 doi
其它	期刊：physica status solidi (a) 作者：Nagendra B. Srinivasan; Tobias B. Thiede; Teresa de los Arcos; Detlef Rogalla; Hans‐Werner Becker; et al 出版日期：2013
求助人	兴奋钢铁侠在 2026-05-12 16:38:52 发布自陕西，悬赏 10 积分
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