Experimental and simulation studies of abrasive particles impacting monocrystalline silicon in suspension thin film flow field of ultrasonic polishing

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标题	Experimental and simulation studies of abrasive particles impacting monocrystalline silicon in suspension thin film flow field of ultrasonic polishing
网址	https://doi.org/10.1007/s00170-019-03580-x
DOI	10.1007/s00170-019-03580-x doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Tianqi Zhang; Tianbiao Yu; Tao Yang; Zixuan Wang; Ji Zhao 出版日期：2019
求助人	pxy 在 2026-03-09 18:19:05 发布自天津，悬赏 10 积分
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