Importance of higher‐level excited species in argon remote plasma sources: Numerical modeling with consideration of detailed chemical reaction pathways

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标题	Importance of higher‐level excited species in argon remote plasma sources: Numerical modeling with consideration of detailed chemical reaction pathways
网址	https://doi.org/10.1002/ppap.202100251
DOI	10.1002/ppap.202100251 doi
其它	期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Cheongbin Cheon; Jung Hwan Yoon; Sanghyun Jo; Ho Jun Kim; Hae June Lee 出版日期：2022
求助人	七秒在 2026-03-16 14:07:56 发布自湖南，悬赏 10 积分
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