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  Comparison of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium oxide thin films 氧化铌薄膜的热沉积与等离子体增强原子层沉积的比较
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Saravana Balaji Basuvalingam; Bart Macco; Hcm Harm Knoops; Jimmy Melskens; W.M.M. Kessels; et al 出版日期：2018-06-18 |
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