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 A novel approach for improved passivation of a-Si and a-Si/c-Si surfaces from deuterium plasma effects 改善a-Si和a-Si/c-Si表面氘等离子体钝化的新方法
相关领域
钝化
等离子体
氘
材料科学
工程物理
纳米技术
原子物理学
核物理学
物理
图层（电子）
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期刊：Journal of Physics D 作者：Mengmeng Chu; Yeojin Jeong; Yunhui Jang; Zhong Pan; Maha Nur Aida; et al 出版日期：2025-05-27 |
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