A high sensitivity piezoelectric MEMS accelerometer based on aerosol deposition method - 科研通

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标题	A high sensitivity piezoelectric MEMS accelerometer based on aerosol deposition method 基于气溶胶沉积法的高灵敏度压电MEMS加速度计相关领域微电子机械系统加速度计材料科学制作光电子学电容感应放大器频谱分析仪电气工程电子工程 CMOS芯片声学计算机科学工程类物理操作系统病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2514224
DOI	10.1117/12.2514224 doi
其它	期刊：Sensors and Smart Structures Technologies for Civil, Mechanical, and Aerospace Systems 2018 作者：Xuewen Gong; Chao-Ting Chen; Wen-Jong Wu; Wei‐Hsin Liao 出版日期：2019-03-27
求助人	席慕容在 2025-11-01 07:31:00 发布自山东，悬赏 20 积分
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