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标题
A high sensitivity piezoelectric MEMS accelerometer based on aerosol deposition method
基于气溶胶沉积法的高灵敏度压电MEMS加速度计
相关领域
微电子机械系统 加速度计 材料科学 制作 光电子学 电容感应 放大器 频谱分析仪 电气工程 电子工程 CMOS芯片 声学 计算机科学 工程类 物理 操作系统 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1117/12.2514224
DOI
10.1117/12.2514224 doi
其它 期刊：Sensors and Smart Structures Technologies for Civil, Mechanical, and Aerospace Systems 2018
作者：Xuewen Gong; Chao-Ting Chen; Wen-Jong Wu; Wei‐Hsin Liao
出版日期：2019-03-27
求助人
席慕容 在 2025-11-01 07:31:00 发布自山东，悬赏 20 积分
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