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 Residual Stress Characterization in Microelectronic Manufacturing: An Analysis Based on Raman Spectroscopy 微电子制造中的残余应力表征：基于拉曼光谱的分析
相关领域
残余应力
微电子
表征（材料科学）
拉曼光谱
材料科学
航空航天
压力（语言学）
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工程物理
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语言学
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期刊：Laser & Photonics Reviews 作者：Zhoudong Yang; Xinyue Wang; Wei Chen; Hongyu Tang; Rongjun Zhang; et al 出版日期：2024-04-20 |
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