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 Bulk FinFET Fin Height Control using Gas Cluster Ion Beam (GCIB)-Location Specific Processing (LSP) 相关领域
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期刊： 作者：Min Suk Kim; R. Ritzenthaler; J.-L. Everaert; Luis J. Fernández; K. Devriendt; et al 出版日期：2013-09-25 |
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