Optimization of HNA etching parameters to produce high aspect ratio solid silicon microneedles

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标题	Optimization of HNA etching parameters to produce high aspect ratio solid silicon microneedles
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/9/095017
DOI	10.1088/0960-1317/22/9/095017 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：A A Hamzah; N Abd Aziz; B Yeop Majlis; J Yunas; C F Dee; B Bais 出版日期：2012
求助人	背后妙旋在 2026-03-18 15:39:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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