Development of Ge Isotropic Wet Etching Solution and its Application to High Quality Ge-on-Insulator Fabrication through the Etchback Method

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标题	Development of Ge Isotropic Wet Etching Solution and its Application to High Quality Ge-on-Insulator Fabrication through the Etchback Method
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ad384b
DOI	10.1149/2162-8777/ad384b doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Noboru Shimizu; Dong Wang; Hiroshi Nakashima; Keisuke Yamamoto 出版日期：2024-03-27
求助人	jessicaw 在 2026-08-04 13:39:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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