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[高分]
Deposition of Mo Films by Ion Beam Assisted Excimer Laser PVD Method 离子束辅助准分子激光PVD沉积钼薄膜
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期刊:Journal of the Japan Institute of Metals and Materials 作者:Tetsuo Yano; Toshihiko Ooie; Masafumi Yoneda; Munehide Katsumura 出版日期:1994-01-01 |
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