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Optical Modeling of SiOx Thin Films for Physicochemical Property Measurement by Spectroscopic Ellipsometry 用于光谱椭圆测量的二氧化硅薄膜光学建模
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期刊:Optical Materials 作者:Fangqi Ge; Likun Wang; Gaorong Han; Yong Liu; Sainan Ma 出版日期:2025-04-01 |
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