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标题
Excellent diffusion barrier property of amorphous NbMoTaW medium entropy alloy thin films used in Cu/Si Connect System
相关领域
材料科学 无定形固体 扩散阻挡层 退火（玻璃） 微观结构 晶界 合金 溅射沉积 薄膜 溅射 晶界扩散系数 复合材料 分析化学（期刊） 纳米技术 结晶学 化学 图层（电子） 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111195
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111195 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Kun Hu; Qiang Hu; Xiandong Xu; S.H. Chen; Jiang Ma; et al
出版日期：2022-05-21
求助人
雪白一曲 在 2026-01-06 12:59:31 发布自山东，悬赏 10 积分
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    浮游 浮游 Lv1251 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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    12:59:31 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
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  • 1天前

    雪白一曲 雪白一曲 Lv3 求助人 发起了本次求助

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