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 Mathematical modeling and experimental study on photoresist whirl-coating in convex-surface laser lithography 凸面激光光刻中光刻胶旋涂的数学模型及实验研究
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期刊：Journal of Optics A: Pure and Applied Optics 作者：Long-jiang Chen; Yi-yong Liang; Jian-bo Luo; Chun-hui Zhang; Guo-guang Yang 出版日期：2009-08-15 |
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