A vacuum packaged surface micromachined resonant accelerometer

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标题	A vacuum packaged surface micromachined resonant accelerometer 真空封装表面微机械谐振加速度计相关领域加速度计加速度边带噪音（视频）声学噪声地板功率（物理）振动物理音叉电气工程光学工程类计算机科学无线电频率噪声测量降噪量子力学人工智能图像（数学）经典力学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2002.805207
DOI	10.1109/jmems.2002.805207 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Ashwin A. Seshia; Moorthi Palaniapan; T.A. Roessig; Roger T. Howe; Roland W. Gooch; et al 出版日期：2002-12-01
求助人	notcc 在 2025-02-04 22:25:56 发布自安徽，悬赏 10 积分
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