Advances in low GWP etch gasses

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标题	Advances in low GWP etch gasses 低GWP蚀刻气体的研究进展相关领域全球变暖潜力腐蚀坑密度半导体器件制造环境科学半导体半导体工业材料科学工程物理纳米技术光电子学蚀刻（微加工）温室气体工程类制造工程地质学海洋学图层（电子）薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1117/12.2660136
DOI	10.1117/12.2660136 doi
其它	期刊：作者：Colin Jennings; Phong Nguyen; Scott R. Biltek; Nathan Stafford 出版日期：2023-05-01
求助人	Karsen夏在 2025-08-29 08:38:14 发布自上海，悬赏 20 积分
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