A MEMS packaged capacitive pressure sensor employing 3C-SiC with operating temperature of 500 °C

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标题	A MEMS packaged capacitive pressure sensor employing 3C-SiC with operating temperature of 500 °C 工作温度为500℃的3C-SiC MEMS封装电容式压力传感器相关领域材料科学薄脆饼微电子机械系统电容感应电容制作体微机械加工薄膜压力传感器光电子学振膜（声学）复合材料分析化学（期刊）表面微加工电气工程纳米技术电极化学机械工程工程类病理物理化学扬声器医学替代医学色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s00542-014-2335-0
DOI	10.1007/s00542-014-2335-0 doi
求助人	linkai 在 2025-09-30 09:42:49 发布自福建，悬赏 10 积分
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