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Branched Block Copolymers for Tuning of Morphology and Feature Size in Thin Film Nanolithography 支化嵌段共聚物用于薄膜纳米光刻中形貌和特征尺寸的调控
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期刊:Macromolecules 作者:Hiroki Minehara; Louis M. Pitet; Sangwon Kim; R. Helen Zha; E. W. Meijer; et al 出版日期:2016-03-10 |
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