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 Low-temperature Silicon Oxynitridation Using a Hyper-thermal Neutral Beam (HNB) 相关领域
热的
硅
材料科学
梁（结构）
光电子学
光学
物理
热力学
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Jong‐Sik Kim; Dae Chul Kim; Bong-Ju Lee; Suk Jae Yoo; Seong Eun Lee; et al 出版日期：2011-05-13 |
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