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Hot Carrier Injection Reliability of Fabricated N- and P-Type Multi FinFETs with Different TiN Stacks 不同TiN堆叠制备N型和P型多FinFET的热载流子注入可靠性
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Yu-Lin Chen; Wen‐Kuan Yeh; Heng‐Tung Hsu; Ke‐Horng Chen; Wen‐Chin Lin; et al 出版日期:2023-03-01 |
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