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 Temperature dependence of Ga2O3 growth by halide vapor phase epitaxy on sapphire and β -Ga2O3 substrates 蓝宝石和β-Ga2O3衬底上卤化物气相外延生长Ga2O3的温度依赖性
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Ken Goto; Hidetoshi Nakahata; Hisashi Murakami; Yoshinao Kumagai 出版日期：2020-11-30 |
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