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 Study on the film forming mechanism, corrosion inhibition effect and synergistic action of two different inhibitors on copper surface chemical mechanical polishing for GLSI GLSI用铜表面化学机械抛光成膜机理、缓蚀效果及两种不同缓蚀剂协同作用研究
相关领域
钝化
腐蚀
物理吸附
缓蚀剂
铜
化学吸附
吸附
化学机械平面化
材料科学
电化学
铜水管的冲蚀腐蚀
化学工程
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化学
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物理化学
图层（电子）
工程类
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jiakai Zhou; Xinhuan Niu; Yaqi Cui; Zhi Wang; Jianchao Wang; et al 出版日期：2019-11-07 |
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